In een molecule wordt een xenonatoom [sub]54[/sub]Xe (2-8-18-8-8) omgeven door vier fluoratomen [sub]9[/sub]F (2-7).[br]De O-schil van xenon wordt opgevuld tot twaalf elektronen en de L-schil van fluor tot acht elektronen (octetconfiguratie).

Vier valentie-elektronen van het xenonatoom vormen elk een gemeenschappelijk elektronenpaar met een fluorelektron. De Lewisstructuur van xenontetrafluoride ziet er uit als volgt:

De vier fluoratomen vormen de hoekpunten van een vierkant met het xenonatoom in het zwaartepunt.

We een kunnen een molecule xenontetrafluoride ook voorstellen als volgt: