In een molecule wordt een xenonatoom [sub]54[/sub]Xe (2-8-18-18-8) omgeven door vijf fluoratomen [sub]9[/sub]F (2-7).[br]De O-schil van xenon wordt opgevuld tot dertien elektronen en de L-schil van fluor tot acht elektronen (octetconfiguratie).

Vijf valentie-elektronen van het xenonatoom vormen elk een gemeenschappelijk elektronenpaar met een fluorelektron. Er blijven nog drie vrije elektronen over. De Lewisstructuur van xenonfluoride ziet er uit als volgt:

Door de vrije elektronen in het xenonatoom vormen de fluoratomen geen ruimtelijke maar een vlakke structuur. Ze vormen de hoekpunten van een regelmatige vijfhoek met het xenonatoom in het zwaartepunt.

We een kunnen een molecule pentafluorxenaat ook voorstellen als volgt: